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- 超紧凑设计：读头厚度仅为9.6 mm，比竞争型号薄39%，可安装于狭小的机器外壳中。
- 通过MicroE SmartPrecision II实现全可编程的性能插值、输出带宽、滤波截止频率和限幅信号极性，全部可软件配置并存储于非易失性存储器。
- 通用光栅兼容性：单个读头可兼容金属条、玻璃线性和旋转玻璃光栅，简化库存和系统设计。
- 强固的EMI屏蔽：CE 认证的双层屏蔽电缆设计，即使在嘈杂的工业环境中也能确保可靠的信号传输。
- 长行程能力：可现场切割的0.3 mm金属条支持最高30 µm的测量范围，适用于大型龙门或线性模块应用。
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产品详情
应用与配置说明
产品概览
MicroE MII5830‑AB‑116384 是 Novanta MicroE 系统的旗舰集成数字增量光栅测量系统。专为微定位平台、半导体器件和医疗自动化设计，结合 38.5 × 13.5 × 9.6 mm 读取头和全可编程软件，提供纳米级分辨率和强大的 EMI 抗扰能力（符合 CE 标准）。
关键硬件与尺寸优势
- 读头尺寸：38.5 × 13.5 × 9.6 毫米 – 比竞争产品薄39%。
- 统一的6 毫米宽光栅导轨，具备零位和双限位轨道，节省传统光学结构一半空间。
- 金属条厚度：0.3 毫米，可现场切割至30 微米行程；玻璃光栅最长可达995 毫米。
- 对准公差：±0.15 毫米间隙，X轴±1°，Y/Z轴±2°；自动校准时间小于30 秒。
- 双层屏蔽高柔性电缆，长度10 微米，外径4.2 毫米，弯曲半径20 毫米，耐2000万次弯曲循环。
可编程核心功能
所有参数均通过 MicroE SmartPrecision II 软件配置并存储在非易失性存储器中，确保断电后设置仍然保留。主要特性包括：
- 插值因子：整数范围 X4‑X16384，线性分辨率 5 微米‑1.22 纳米。
- 输出带宽：0.098 兆‑50 兆 正交计数/秒。
- 可调低通滤波器：0.01 千赫‑100 千赫。
- 可编程限位信号极性和双模式安全逻辑。
- 自动信号增益优化，以补偿错位或污染。
- 三态差分报警输出，用于故障诊断。
- 高速串行调试端口，用于固件更新和状态读取。
技术性能
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 基准光栅间距 | 20 µm |
| 最大线性速度 | 5 米/秒 |
| 最大旋转速度 | 6000 转/分钟 |
| 金属条精度 | ±5 µm/m |
| 玻璃线性精度 | ±1 µm（≤130 mm）/ ±1.5‑5 µm（130 mm‑1 µm） |
| 旋转光栅精度 | ±2.1 弧秒 |
典型应用
适用于高精度数控机床、半导体晶圆粘合机、微型外科机器人、光学光谱仪、干涉仪、微装配站以及精密进给轴。
联系与咨询
如需报价、技术支持或海外发货，请联系授权经销商北京高空科技（联系人：董宇，+86 185 1855 6588）。
关键卖点
- 超紧凑设计：读头厚度仅为9.6 毫米，比竞争型号薄39%，可在狭小机器外壳中安装。
- 全可编程性能：插值、输出带宽、滤波截止频率和限位信号极性均可通过 MicroE SmartPrecision II 软件配置，并存储在非易失性存储器中。
- 通用光栅兼容性：单个读头兼容金属条、玻璃线性和旋转玻璃光栅，简化库存和系统设计。
- 强大的 EMI 屏蔽：CE 认证设计，双层屏蔽电缆，即使在嘈杂的工业环境中也能确保可靠的信号传输。
- 长行程能力：可现场切割的 0.3 mm 金属条，可实现高达 30 µm 的测量范围，适用于大型龙门或线性模块应用。
购买指南与应用
高精度光栅尺选型指南
在为数控或计量应用选择光栅尺时，需要考虑行程长度、分辨率和环境鲁棒性。MII5830‑AB‑116384 具备紧凑的 9.6 mm 外形、最高 30 µm 金属条行程以及可编程至 1.22 nm 的插值。其 CE 认证的 EMI 屏蔽使其适用于电磁噪声较大的车间。配合 MicroE SmartPrecision II 软件，可实现与运动控制器的无缝集成。
半导体设备集成技巧
半导体设备要求亚微米级重复性。MII5830 内置的信号增益算法可自动补偿灰尘或轻微光栅污染，降低循环误差。将 6 mm 宽的光栅条安装在靠近机架的位置以减小悬臂效应，并使用双层屏蔽电缆保持长距离信号完整性。校准可在一分钟内完成，实现晶圆尺寸的快速切换。
维护与可靠性
由于 MII5830 为固态非接触式装置，读取头不存在机械磨损。定期目视检查光栅表面是否有严重污染即可。系统预先使用可追溯至 NIST 的激光干涉仪校准，确保在预计的五年使用寿命内测量可靠。固件可通过串行调试口在不拆卸的情况下更新。
为何选择授权的MicroE经销商？
授权经销商提供 Novanta 正品零部件、官方固件以及保修支持。他们还能获取最新的软件版本和技术文档，确保您的 MII5830‑AB‑116384 以最佳性能运行。对于国际买家，经销商可办理出口文件并提供本地语言技术支持。
买家常见问题
MII5830‑AB‑116384 能实现的测量分辨率是多少？
该装置支持 X4 至 X16384 的插值因子，提供 5 µm 至 1.22 nm 的线性分辨率，以及 20 k 至 268 M CPR 的旋转输出。
该编码器是否兼容现有的数控控制器？
是的。所有参数均在 SmartPrecision II 软件中编程并保存于读取头中，编码器可在无需硬件更改的情况下匹配控制器的计数率和信号电平。
光栅能否定制为更长行程？
金属条光栅（MT 系列）采用 Inconel 625 制成，可现场裁剪至最长 30 µm，提供经济高效的长行程解决方案。
该装置具备哪些环境防护？
读取头配备大面积光电二极管和多级光学滤波，具备抗尘油能力。双层屏蔽电缆可在最长 10 m 的距离内防止电磁干扰。
该设备如何校准和维护？
每台出厂时均使用可追溯至 NIST 标准的激光干涉仪校准。现场使用时，自动信号增益优化可持续补偿轻微污染，完整校准可在 30 秒以内完成。
是否提供全球发货及出口文件？
北京的授权经销商可为海外买家安排国际运输、出口文件以及本地语言支持。
支持媒体
请求报价前
MII5830‑AB‑116384 能实现的测量分辨率是多少？
该装置支持 X4 至 X16384 的插值因子，提供 5 µm 至 1.22 nm 的线性分辨率，以及 20 k 至 268 M CPR 的旋转输出。
该编码器是否兼容现有的数控控制器？
是的。所有参数均在 SmartPrecision II 软件中编程并保存于读取头中，编码器可在无需硬件更改的情况下匹配控制器的计数率和信号电平。
光栅能否定制为更长行程？
金属条光栅（MT 系列）采用 Inconel 625 制成，可现场裁剪至最长 30 µm，提供经济高效的长行程解决方案。
该装置具备哪些环境防护？
读取头配备大面积光电二极管和多级光学滤波，具备抗尘油能力。双层屏蔽电缆可在最长 10 m 的距离内防止电磁干扰。
